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シールド型アークイオンプレーティング法による炭素系硬質薄膜の作製とその構造および機械的性質評価

シールド型アークイオンプレーティング法による炭素系硬質薄膜の作製とその構造および機械的性質評価

書籍データ

著者名:田島信宏 [著]他の作品を見る

出版社:者不明

発売日:[1999]

v, 138枚 30cm

ISBN:

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