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「新型マイクロ波モードを用いた大面積薄膜製造装置 <科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書> 河合 良信」の検索結果

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新型マイクロ波モードを用いた大面積薄膜製造装置 ＜科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書＞

新型マイクロ波モードを用いた大面積薄膜製造装置 ＜科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書＞

平成8年度科学研究費補助金(基盤研究A(2))研究成果報告書(研究課題番号07558180)

研究代表者河合良信、九州大学、1998.3

30p 30cm

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