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知的電子システムのための科学的LSI製造技術の研究 <科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書>
平成10-11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号10044114)
大見忠弘研究代表者、大見忠弘、2000.3
69p 30cm