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薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性 ＜Basic selection＞

薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性 ＜Basic selection＞

薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー内部応力密着性

金原粲 [ほか編]、リアライズ・アドバンストテクノロジ、1992.3

610p, 図版[2]p 30cm

4898080618

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