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「MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ <科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書> 山崎 二郎 本田 崇 竹澤 昌晃」の検索結果

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MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ ＜科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書＞

MEMSによる磁性材料の高アスペクト比微細加工と磁気MEMS医用マイクロポンプ ＜科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書＞

山崎二郎研究代表、九州工業大学、2007.6

1冊 30cm

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