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「(Ti,Al)NのCVD成膜における移動現象と膜組成制御」の検索結果

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(Ti,Al)NのCVD成膜における移動現象と膜組成制御 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

(Ti,Al)NのCVD成膜における移動現象と膜組成制御 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

平成8-10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号08455343)

菊池淳研究代表者、菊池淳、1999.3

1冊 30cm

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