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シリコン化合物表面の機能性膜の開発とその応用

シリコン化合物表面の機能性膜の開発とその応用

昭和63年度科学研究費補助金試験研究(1)研究成果報告書,研究課題番号(61880024)

研究代表者中西守、中西守

1冊 26cm

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