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「ナノメートル位置決めのための摩擦駆動機構とインテリジェントリニアガイドの開発」の検索結果

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ナノメートル位置決めのための摩擦駆動機構とインテリジェントリニアガイドの開発 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

ナノメートル位置決めのための摩擦駆動機構とインテリジェントリニアガイドの開発 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

平成15年度-平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号15360078)

足立幸志研究代表、足立幸志、2005.5

163p 30cm

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