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「プラズマ・シース共鳴を用いた容量性結合プラズマの制御に関する研究」の検索結果

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プラズマ・シース共鳴を用いた容量性結合プラズマの制御に関する研究

プラズマ・シース共鳴を用いた容量性結合プラズマの制御に関する研究

[後藤直彦]、[2000]

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