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ヘッド媒体インタフェースにおけるナノメートルすきまの三次元画像計測に関する研究
平成10年度〜平成11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
三矢保永[ほか著]、者不明、2001.2
53p 30cm