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ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開 <科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書>
秩父重英研究代表、秩父重英、2007.5
1冊 30cm