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「二周波数励起低運動エネルギイオン照射プロセス成膜装置の開発」の検索結果

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二周波数励起低運動エネルギイオン照射プロセス成膜装置の開発 ＜科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書＞

二周波数励起低運動エネルギイオン照射プロセス成膜装置の開発 ＜科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書＞

平成元年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書 : (課題番号 63850058)

大見忠弘研究代表者、大見忠弘、1990.3

184p 26cm

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