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「反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価」の検索結果

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反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価 ＜科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書＞

反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価 ＜科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書＞

研究代表者 坪井望、坪井望、2006.5

22, 16p 30cm

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