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「圧力転写型加工による自律的超精密形状創成の実現のための基礎的研究」の検索結果

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圧力転写型加工による自律的超精密形状創成の実現のための基礎的研究 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

圧力転写型加工による自律的超精密形状創成の実現のための基礎的研究 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号07455414)

清野慧研究代表者、清野慧、1997.3

105p 30cm

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