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基板上セラミック薄膜の熱膨張測定装置の開発

基板上セラミック薄膜の熱膨張測定装置の開発

平成7年度〜平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号07555195)

花田禎一研究代表、花田禎一、1997.3

109p 30cm

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