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「広範囲(100mm角)・微細(100nm幅)形状のための金型転写技術の開発」の検索結果

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広範囲(100mm角)・微細(100nm幅)形状のための金型転写技術の開発

広範囲(100mm角)・微細(100nm幅)形状のための金型転写技術の開発

平成17年度〜平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書 文部科学省科学研究費補助金(基盤研究(A))研究成果報告書

研究代表者 中尾政之、中尾政之、2007.5

80枚 30cm

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