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「拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製」の検索結果

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拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

拡張シールド型真空アーク蒸着装置による絶縁性窒化アルミニウム膜の創製 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

研究代表者 榊原建樹、榊原建樹、2002.3

1冊 30cm

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