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「有機シランを原料としたCVD法によるSiC系構造用セラミック作製プロセスの開発」の検索結果

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有機シランを原料としたCVD法によるSiC系構造用セラミック作製プロセスの開発

有機シランを原料としたCVD法によるSiC系構造用セラミック作製プロセスの開発

[竹内隆]、[1999]

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