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「有機シリコン化合物を用いたプラズマCVDによる高分子基板へのシリカ膜形成に関する研究」の検索結果

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有機シリコン化合物を用いたプラズマCVDによる高分子基板へのシリカ膜形成に関する研究

有機シリコン化合物を用いたプラズマCVDによる高分子基板へのシリカ膜形成に関する研究

手嶋勝弥 [著]、者不明、[2003]

217p 30cm

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