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高密度プラズマスパッタリングによるナノコンポジット超硬質薄膜合成の研究

高密度プラズマスパッタリングによるナノコンポジット超硬質薄膜合成の研究

平成13年度〜平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

研究代表者 三宅正司、三宅正司、2004.10

94p 30cm

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