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「炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性」の検索結果

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炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書＞

研究代表者 後藤孝、後藤孝、2005.3

1册 30cm

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