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炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ <科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書>
平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号14550696)
成島尚之研究代表、成島尚之、2004.5
183枚 30cm