触媒CVD(Cat-CVD)の新展開 : ラジカルを用いる新プロセス技術

Recent developments of catalytic CVD(hot-wire CVD)

中山弘 監修、シーエムシー、2008.10

276p 27cm

978-4-7813-0039-9

触媒CVD〈Cat-CVD〉の新展開 = Recent Developments of Catalytic CVD〈Hot-Wire CVD〉 : ラジカルを用いる新プロセス技術 ＜エレクトロニクスシリーズ＞ 普及版.

Recent Developments of Catalytic CVD〈Hot-Wire CVD〉

中山弘 監修、シーエムシー、2013.11

276p 26cm

978-4-7813-0740-4