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金属をドープした半導体性DLC膜のナノスケール制御プラズマCVD

金属をドープした半導体性DLC膜のナノスケール制御プラズマCVD

平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

高井治 [ほか著]、者不明、1998.3

1冊 30cm

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