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高温金属表面におけるシランの分解反応素過程に関する研究
平成11年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 文部科学省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
研究代表者 越光男、越光男、2002.3
50p 30cm