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「MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリ等のデバイスへの実用化研究」の検索結果

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MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリ等のデバイスへの実用化研究 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告＞

MOCVD法による強誘電体薄膜の高速大面積成長とメモリ等のデバイスへの実用化研究 ＜科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告＞

平成9年-平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(1))研究成果報告書

研究代表者塩嵜忠、奈良先端科学技術大学院大学、1999.3

1冊 30 cm

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