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イオンビーム支援蒸着法による硬質窒化物薄膜の形成とその機械的性質
イオン ビーム 支援 蒸着法 硬質 窒化物 薄膜 形成 機械的 性質
林敏行 [著]、者不明、[1999]
98枚 30cm