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「超薄高誘電率ゲート絶縁膜におけるシリコンとの界面制御の研究」の検索結果

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超薄高誘電率ゲート絶縁膜におけるシリコンとの界面制御の研究

超薄高誘電率ゲート絶縁膜におけるシリコンとの界面制御の研究

平成13年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(S))研究成果報告 科学研究費補助金(基盤研究(S))研究成果報告

研究代表者鳥海明、鳥海明、2006.5

225p 30cm

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