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ECRプラズマMOCVD法によるチタニア基ナノコンポジット膜の低温合成 <科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書>
平成16年度~平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 : 研究課題番号16360321
増本博研究代表、増本博、2007.3
108p 30cm