液面上の直流プラズマを利用する新しいCVD法の開発

書籍データ

科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書 : 平成11年度〜平成12年度

著者名：鈴木健之研究代表者他の作品を見る

出版社：鈴木健之

発売日：2001.3

1冊 30cm

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