量子分子動力学による多成分系CVDの反応解析と初期成膜シミュレーション ＜科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書＞

書籍データ

平成7年度-平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書(研究課題番号07650925)

著者名：研究代表者 佐藤恒之他の作品を見る

出版社：九州大学

発売日：1997.3

97p 30cm

ISBN：