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DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質

DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質

書籍データ

平成6年度科学研究費補助金試験研究(B)(1)研究成果報告書 : 課題番号 05555189

著者名:冨井洋一研究代表他の作品を見る

出版社:冨井洋一

発売日:1995.3

1冊 30cm

ISBN:

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