速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用 ＜科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書＞

書籍データ

平成15年度～平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号15560016)

著者名：羽多野忠研究代表他の作品を見る

出版社：羽多野忠

発売日：2005.3

1冊 30cm

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