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「光・プラズマ2重励起による半導体SiCの低温エピタキシャル成長 西野 茂弘」の検索結果

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光・プラズマ2重励起による半導体SiCの低温エピタキシャル成長

光・プラズマ2重励起による半導体SiCの低温エピタキシャル成長

平成2年度科学研究費補助金(一般研究(C))研究成果報告書(課題番号01550016)

研究代表者西野茂弘、西野茂弘、1991

48p 26cm

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