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「光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用 <科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書> 山本 正樹 羽多野 忠 柳原 美廣」の検索結果

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光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用 ＜科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書＞

光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用 ＜科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書＞

研究代表者 山本正樹、山本正樹、2002.3

1冊 30cm

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