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「変形マグネトロン型プラズマ源の開発 <科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書> 佐藤 徳芳」の検索結果

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変形マグネトロン型プラズマ源の開発 ＜科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書＞

変形マグネトロン型プラズマ源の開発 ＜科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書＞

平成8-10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号08558043)

佐藤徳芳研究代表者、佐藤徳芳、1999.3

115p 30cm

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