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電子励起によるガラス転移とその微細加工への応用に関する研究
平成8年度~平成9年度科学研究補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
研究代表者 田中啓司、北海道大学大学院工学研究科、1998.3
76p 30cm