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イオン注入法による接合界面の組成・構造変化と接合特性に関する研究
平成7年度-平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
研究代表者 高橋平七郎、北海道大学エネルギー先端工学研究センター、1997.3
56p 30cm