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ウェハー上のマイクロ冷凍機 ＜科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書＞

ウェハー上のマイクロ冷凍機 ＜科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書＞

平成18年度-平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

研究代表者 久保田裕巳、九州大学、2008.3

37枚 30cm

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