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「デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究」の検索結果

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デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究

デジタルMOCVD法によるPZT強誘電体薄膜の作製とそのデバイス応用に関する研究

科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書 : 平成7年度〜平成9年度

黒岩紘一研究代表者、黒岩紘一、1999.3

122p 30cm

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