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ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術
Nanoscale servo control ナノスケールサーボ制御 : 高速高精度に位置を決める技術
山口高司, 平田光男, 藤本博志編著、NetLibrary、2009
1オンラインリソース
978-4-501-91910-8
Nanoscale servo control
山口高司, 平田光男, 藤本博志 編著、東京電機大学出版局、2007.10
280p 22cm
978-4-501-11350-6