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「ナノ非平衡構造を有する窒素吸収材料を用いたケミカル真空ポンプの開発と基礎物性」の検索結果

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ナノ非平衡構造を有する窒素吸収材料を用いたケミカル真空ポンプの開発と基礎物性

ナノ非平衡構造を有する窒素吸収材料を用いたケミカル真空ポンプの開発と基礎物性

平成17年度～平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 : 17360369 Development of chemical vacuum pump using nitrogen absorption nano-materials

研究代表者 石原慶一、[石原慶一]、2008.5

1冊 30cm

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