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「パルス超音速原子状酸素ビームを利用したSi常温酸化法の開発」の検索結果

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パルス超音速原子状酸素ビームを利用したSi常温酸化法の開発

パルス超音速原子状酸素ビームを利用したSi常温酸化法の開発

平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金研究成果報告書 : 基盤研究B2

研究代表者 梅野正隆、梅野正隆、1999.4

v, 89p 30cm

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