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「マイクロマシニングによる弾性表面波ジヤイロスコープの研究」の検索結果

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マイクロマシニングによる弾性表面波ジャイロスコープの研究

マイクロマシニングによる弾性表面波ジャイロスコープの研究

平成7年度-9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書 文部省科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書

研究代表者 樋口俊郎、樋口俊郎、1998.3

[1冊] 30cm

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