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代替パーフルオロカーボンプラズマ中で生成する有害物質の高感度検出 <科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書>
平成15年度-平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
研究代表者 古屋謙治、九州大学、2005.3
87p 30cm