塩素・臭素系混合プラズマの気相および固体表面におけるプラズマ化学の解明と制御

平成17年度～平成18年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 : (課題番号 17340172) A study of plasma chemistry in the gas phase and on surfaces during plasma etching in chlorine-and bromine-containing plasmas

研究代表者 斧高一、斧高一、2007.5

87p 30cm