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微粒子型マイクロ圧力センサーの基盤研究及び加工プロセス研究への実用化
平成7年度〜平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号;07650306)
小寺秀俊研究代表、小寺秀俊、1998.3
145, [28], 462-463, 771-778p