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複合レーザによる多層超薄膜マイクロアクチュエータの研究
平成7年度~平成9年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書
研究代表者 池田正幸、北海道大学工学研究科、1998.3
vi, 30p 30cm