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超精密平面と面粗さ ＜次世代の超精密加工技術＞

超精密平面と面粗さ ＜次世代の超精密加工技術＞

次世代の超精密加工技術編集委員会編集、産業技術サービスセンター、1993.10

397p 27cm

4915957225

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