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「速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用」の検索結果

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速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用 ＜科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書＞

速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用 ＜科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書＞

平成15年度～平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号15560016)

羽多野忠研究代表、羽多野忠、2005.3

1冊 30cm

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